发布时间:2025-05-29 07:14:16 分类:公司动态 浏览:

东方晶源多年来深耕电子束检测领域,其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破,并获市场认可。2023年初,东方晶源推出DR-SEM r600,搭配3通道电子成像技术与新型设备平台,在客户端完成量产验证,为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发,东方晶源最新一代DR-SEM r655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组,以及升级版传片系统和算法系统,突破一系列技术难点,满足国内先进制程产线应用需求。电子束检测成像:5通道探测器覆盖更广泛的检测需求光学检测升级:突破灵敏度极限针对无图形晶圆缺陷复检需求,最新一代的r655通过两项核心改进实现突破:效能跃升:产能对标国际水平r655通过平台级升级,全面优化晶圆吞吐效率:未来布局:智能化与国产化深度融合东方晶源以“高性能优化(HPO)”为核心理念,前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统,通过智能算法提升缺陷抓取率,推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新,突破关键技术瓶颈,走出自研设备的道路,为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。结语从技术攻坚到产能突破,东方晶源DR-SEM系列产品持续以务实创新回应市场需求。r655的推出,标志着国产电子束检测设备在精度、效率与智能化领域迈入新阶段,为我国半导体先进制程发展注入强劲动能。

2025SEMICON CHINA :东方晶源新品DR-SEM r655备受瞩目
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中国机电产品进出口商会:美单边贸易保护主义行为严重扰乱全球经贸秩序

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